特殊客製精密陶瓷零組件|Custom Precision Ceramic Components
徽亞科技提供特殊精密陶瓷零組件客製化與依圖加工服務,針對半導體、LED、TFT-LCD、光電太陽能、自動化設備、精密機械、生技製藥及特殊工業設備,依客戶圖面與實際使用條件進行材料選擇及加工可行性評估。
可加工材料包含 Al₂O₃ 氧化鋁、ZrO₂ 氧化鋯、SiC 碳化矽、Si₃N₄ 氮化矽、AlN 氮化鋁、Bulk ESD Ceramic 一體成型抗靜電陶瓷、Machinable Glass Ceramic 玻璃微晶瓷及 Quartz 石英等。
精密陶瓷與一般金屬具有不同的機械與加工特性,因此特殊零件在設計階段需同時考量材料特性、尺寸、公差、孔位、邊角、厚度、熱膨脹、表面品質及實際工作環境。
依圖加工|Build to Print Ceramic Components
客戶可提供 2D / 3D 圖面、現有零件尺寸或設備需求進行精密陶瓷加工評估。
可依需求評估:
- Outside Diameter|外徑
- Inside Diameter|內徑
- Thickness|厚度
- Length / Width|長度與寬度
- Dimensional Tolerance|尺寸公差
- Flatness|平面度
- Parallelism|平行度
- Roundness|圓度
- Concentricity|同心度
- Surface Roughness|表面粗糙度
- Hole Pattern|孔位
- Grooves|溝槽
- Complex Geometry|特殊幾何結構
Al₂O₃ 氧化鋁精密陶瓷加工
Al₂O₃ 氧化鋁具有高硬度、耐磨、電氣絕緣及良好的高溫性能,是精密設備中常見的工程陶瓷材料。
可應用於 Ceramic Chuck、Robot Arm、Insulator、Pin、Bushing、Guide、Wear Parts 及各式精密結構零件。
ZrO₂ 氧化鋯精密陶瓷加工
ZrO₂ 氧化鋯具有較高韌性與良好耐磨性能,可依設備條件應用於精密定位、Pin、Bushing、Bearing、Valve 及機械接觸零件。
SiC 碳化矽精密陶瓷加工
SiC 碳化矽具有高硬度、良好的熱傳導與高溫尺寸穩定特性,可依設備需求應用於半導體、熱管理、Plasma、Heater Block、Chuck 及高溫精密設備零件。
Si₃N₄ 氮化矽精密陶瓷加工
Si₃N₄ 氮化矽具有高強度、低密度、良好的耐磨與耐熱震性能,可應用於 Ceramic Bearing、Roller、高速旋轉與精密機械設備。
AlN 氮化鋁精密陶瓷加工
AlN 氮化鋁兼具高熱傳導與電氣絕緣特性,適合需要熱管理與電氣隔離的半導體、電子及高功率設備零組件。
可依需求加工 Heating Stage、Thermal Components、Insulators、Chuck 及特殊熱管理零件。
Bulk ESD 一體成型抗靜電陶瓷加工
Bulk ESD Ceramic 的靜電耗散特性存在於陶瓷材料本體,而非單純依靠表面 ESD coating。
可依 ESD 敏感設備需求應用於:
- ESD Ceramic Robot Arm
- ESD End Effector
- ESD Vacuum Chuck
- ESD Ceramic Chuck
- ESD Fixtures
- Wafer Handling Components
依材料牌號與應用需求,可評估約 105~109 Ω·cm 等級的電阻率範圍,實際性能需依材料與測試條件確認。
Machinable Glass Ceramic|玻璃微晶瓷客製加工
Machinable Glass Ceramic(可加工玻璃陶瓷)具有良好的電氣絕緣性與機械加工便利性,適合製作複雜幾何結構、Prototype、治具、真空設備及電氣絕緣零件。
Quartz|石英精密加工
Quartz / Fused Quartz 具有高純度、低熱膨脹及良好的耐熱震性能,可依製程條件應用於半導體、LED、CVD / PECVD、Plasma、真空及高溫設備。
半導體特殊精密陶瓷零組件
針對半導體設備,可依客戶圖面製作各式非標準精密陶瓷零組件。
- Ceramic Robot Arm|陶瓷手臂
- Ceramic End Effector|陶瓷末端執行器
- Ceramic Vacuum Chuck|陶瓷真空吸盤
- Wafer Chuck|晶圓 Chuck
- Shield Ring / Focus Ring / Edge Ring
- SiC Heater Block
- Ceramic Bonding Head|陶瓷壓頭
- Ceramic Pin / Bushing
- CVD / PECVD Components
- Custom Chamber Components
Prototype|研發打樣與少量客製
針對新設備、新製程及材料替代需求,可依零件結構與材料條件評估研發打樣、小量試作及後續量產。
客戶可先提供圖面與使用條件進行加工可行性確認,再依實際測試結果進行設計調整。
金屬零件改為陶瓷材料評估
若現有金屬零件存在磨耗、腐蝕、熱變形、電氣絕緣不足、重量或製程污染等問題,可評估以工程陶瓷材料替代。
但陶瓷材料與金屬的機械特性不同,不建議僅以相同尺寸直接更換材料。
進行材料替代時,應重新評估:
- 材料強度與脆性
- 零件厚度
- 孔位與邊角
- 應力集中
- 固定與鎖固方式
- 熱膨脹差異
- 工作溫度
- 機械負載
- 設備組裝公差
如何提供客製陶瓷詢價資料?
為提高材料與加工評估效率,建議提供以下資訊:
- 2D / 3D 零件圖面
- 材料名稱或材料需求
- 尺寸與公差
- 平面度 / 平行度
- 表面粗糙度
- 數量
- 工作溫度
- 真空條件
- Plasma / RF 條件
- 化學環境
- ESD 電氣需求
- 目前零件存在的問題
- 研發打樣或量產需求
若尚未確定適合的陶瓷材料,也可提供實際設備與使用條件,進行材料與加工可行性評估。
Custom Precision Ceramic Components & Machining
Huiya Technology provides custom precision ceramic components and build-to-print ceramic machining services for semiconductor, LED, TFT-LCD, photovoltaic, automation, industrial machinery and specialized equipment.
Available materials include Alumina (Al₂O₃), Zirconia (ZrO₂), Silicon Carbide (SiC), Silicon Nitride (Si₃N₄), Aluminum Nitride (AlN), Bulk ESD Ceramic, Machinable Glass Ceramic and Quartz.
Custom Machining Capabilities
- Custom Dimensions
- Precision Tolerances
- Flatness & Parallelism
- Roundness & Concentricity
- Surface Roughness
- Precision Holes
- Grooves
- Complex Geometries
- Precision Grinding
- Prototype Components
- Small-Batch Production
- Production Components
Applications
- Semiconductor Equipment
- Wafer Handling Equipment
- CVD / PECVD / Plasma Equipment
- LED Manufacturing Equipment
- TFT-LCD Equipment
- Photovoltaic Equipment
- Industrial Automation
- Precision Machinery
- Food & Pharmaceutical Equipment
- Custom R&D Equipment
Customers may provide drawings, dimensions, tolerances, operating temperatures, process environments and application requirements for material selection and manufacturing feasibility evaluation.


