. 我们检测到您误删了错误的代码。为避免再次发生类似情况,请您将之前添加的代码全部删除,并改为使用以下这段最新的代码。谢谢您!
application

製程應用

特殊客製精密陶瓷零組件|Custom Precision Ceramic Components

徽亞科技提供特殊精密陶瓷零組件客製化與依圖加工服務,針對半導體、LED、TFT-LCD、光電太陽能、自動化設備、精密機械、生技製藥及特殊工業設備,依客戶圖面與實際使用條件進行材料選擇及加工可行性評估。

可加工材料包含 Al₂O₃ 氧化鋁、ZrO₂ 氧化鋯、SiC 碳化矽、Si₃N₄ 氮化矽、AlN 氮化鋁、Bulk ESD Ceramic 一體成型抗靜電陶瓷、Machinable Glass Ceramic 玻璃微晶瓷及 Quartz 石英等。

精密陶瓷與一般金屬具有不同的機械與加工特性,因此特殊零件在設計階段需同時考量材料特性、尺寸、公差、孔位、邊角、厚度、熱膨脹、表面品質及實際工作環境。

依圖加工|Build to Print Ceramic Components

客戶可提供 2D / 3D 圖面、現有零件尺寸或設備需求進行精密陶瓷加工評估。

可依需求評估:

  • Outside Diameter|外徑
  • Inside Diameter|內徑
  • Thickness|厚度
  • Length / Width|長度與寬度
  • Dimensional Tolerance|尺寸公差
  • Flatness|平面度
  • Parallelism|平行度
  • Roundness|圓度
  • Concentricity|同心度
  • Surface Roughness|表面粗糙度
  • Hole Pattern|孔位
  • Grooves|溝槽
  • Complex Geometry|特殊幾何結構

Al₂O₃ 氧化鋁精密陶瓷加工

Al₂O₃ 氧化鋁具有高硬度、耐磨、電氣絕緣及良好的高溫性能,是精密設備中常見的工程陶瓷材料。

可應用於 Ceramic Chuck、Robot Arm、Insulator、Pin、Bushing、Guide、Wear Parts 及各式精密結構零件。

ZrO₂ 氧化鋯精密陶瓷加工

ZrO₂ 氧化鋯具有較高韌性與良好耐磨性能,可依設備條件應用於精密定位、Pin、Bushing、Bearing、Valve 及機械接觸零件。

SiC 碳化矽精密陶瓷加工

SiC 碳化矽具有高硬度、良好的熱傳導與高溫尺寸穩定特性,可依設備需求應用於半導體、熱管理、Plasma、Heater Block、Chuck 及高溫精密設備零件。

Si₃N₄ 氮化矽精密陶瓷加工

Si₃N₄ 氮化矽具有高強度、低密度、良好的耐磨與耐熱震性能,可應用於 Ceramic Bearing、Roller、高速旋轉與精密機械設備。

AlN 氮化鋁精密陶瓷加工

AlN 氮化鋁兼具高熱傳導與電氣絕緣特性,適合需要熱管理與電氣隔離的半導體、電子及高功率設備零組件。

可依需求加工 Heating Stage、Thermal Components、Insulators、Chuck 及特殊熱管理零件。

Bulk ESD 一體成型抗靜電陶瓷加工

Bulk ESD Ceramic 的靜電耗散特性存在於陶瓷材料本體,而非單純依靠表面 ESD coating。

可依 ESD 敏感設備需求應用於:

  • ESD Ceramic Robot Arm
  • ESD End Effector
  • ESD Vacuum Chuck
  • ESD Ceramic Chuck
  • ESD Fixtures
  • Wafer Handling Components

依材料牌號與應用需求,可評估約 105~109 Ω·cm 等級的電阻率範圍,實際性能需依材料與測試條件確認。

Machinable Glass Ceramic|玻璃微晶瓷客製加工

Machinable Glass Ceramic(可加工玻璃陶瓷)具有良好的電氣絕緣性與機械加工便利性,適合製作複雜幾何結構、Prototype、治具、真空設備及電氣絕緣零件。

Quartz|石英精密加工

Quartz / Fused Quartz 具有高純度、低熱膨脹及良好的耐熱震性能,可依製程條件應用於半導體、LED、CVD / PECVD、Plasma、真空及高溫設備。

半導體特殊精密陶瓷零組件

針對半導體設備,可依客戶圖面製作各式非標準精密陶瓷零組件。

  • Ceramic Robot Arm|陶瓷手臂
  • Ceramic End Effector|陶瓷末端執行器
  • Ceramic Vacuum Chuck|陶瓷真空吸盤
  • Wafer Chuck|晶圓 Chuck
  • Shield Ring / Focus Ring / Edge Ring
  • SiC Heater Block
  • Ceramic Bonding Head|陶瓷壓頭
  • Ceramic Pin / Bushing
  • CVD / PECVD Components
  • Custom Chamber Components

Prototype|研發打樣與少量客製

針對新設備、新製程及材料替代需求,可依零件結構與材料條件評估研發打樣、小量試作及後續量產。

客戶可先提供圖面與使用條件進行加工可行性確認,再依實際測試結果進行設計調整。

金屬零件改為陶瓷材料評估

若現有金屬零件存在磨耗、腐蝕、熱變形、電氣絕緣不足、重量或製程污染等問題,可評估以工程陶瓷材料替代。

但陶瓷材料與金屬的機械特性不同,不建議僅以相同尺寸直接更換材料。

進行材料替代時,應重新評估:

  • 材料強度與脆性
  • 零件厚度
  • 孔位與邊角
  • 應力集中
  • 固定與鎖固方式
  • 熱膨脹差異
  • 工作溫度
  • 機械負載
  • 設備組裝公差

如何提供客製陶瓷詢價資料?

為提高材料與加工評估效率,建議提供以下資訊:

  • 2D / 3D 零件圖面
  • 材料名稱或材料需求
  • 尺寸與公差
  • 平面度 / 平行度
  • 表面粗糙度
  • 數量
  • 工作溫度
  • 真空條件
  • Plasma / RF 條件
  • 化學環境
  • ESD 電氣需求
  • 目前零件存在的問題
  • 研發打樣或量產需求

若尚未確定適合的陶瓷材料,也可提供實際設備與使用條件,進行材料與加工可行性評估。


Custom Precision Ceramic Components & Machining

Huiya Technology provides custom precision ceramic components and build-to-print ceramic machining services for semiconductor, LED, TFT-LCD, photovoltaic, automation, industrial machinery and specialized equipment.

Available materials include Alumina (Al₂O₃), Zirconia (ZrO₂), Silicon Carbide (SiC), Silicon Nitride (Si₃N₄), Aluminum Nitride (AlN), Bulk ESD Ceramic, Machinable Glass Ceramic and Quartz.

Custom Machining Capabilities

  • Custom Dimensions
  • Precision Tolerances
  • Flatness & Parallelism
  • Roundness & Concentricity
  • Surface Roughness
  • Precision Holes
  • Grooves
  • Complex Geometries
  • Precision Grinding
  • Prototype Components
  • Small-Batch Production
  • Production Components

Applications

  • Semiconductor Equipment
  • Wafer Handling Equipment
  • CVD / PECVD / Plasma Equipment
  • LED Manufacturing Equipment
  • TFT-LCD Equipment
  • Photovoltaic Equipment
  • Industrial Automation
  • Precision Machinery
  • Food & Pharmaceutical Equipment
  • Custom R&D Equipment

Customers may provide drawings, dimensions, tolerances, operating temperatures, process environments and application requirements for material selection and manufacturing feasibility evaluation.