光電太陽能製程精密陶瓷應用｜Photovoltaic & Solar Process Ceramic Components

徽亞科技提供光電、太陽能電池與相關製程設備所需之精密陶瓷、功能陶瓷與石英零組件，應用於 Wafer Handling 晶圓搬運、CVD / PECVD 薄膜沉積、PVD / Sputtering 鍍膜、清洗製程、真空設備、加熱製程及自動化設備。

依不同設備的高潔淨度、耐高溫、熱傳導、電氣絕緣、耐腐蝕、耐磨、真空、Plasma、ESD 靜電控制及尺寸精度需求，可評估使用 Al₂O₃ 氧化鋁、AlN 氮化鋁、SiC 碳化矽、Si₃N₄ 氮化矽、ZrO₂ 氧化鋯、Bulk ESD Ceramic 一體成型抗靜電陶瓷、Machinable Glass Ceramic 玻璃微晶瓷及 Quartz 石英等材料。

零組件可依客戶設備、圖面、尺寸、公差、平面度、表面粗糙度、工作溫度、製程氣體及設備介面進行高度客製化加工。

Wafer Handling｜太陽能晶圓搬運

太陽能晶圓在搬運、定位與自動化製程中，需要降低接觸污染、顆粒、磨耗與靜電造成的影響。

精密陶瓷可依設備需求應用於：

• Ceramic Robot Arm｜陶瓷搬運手臂
• Ceramic End Effector｜陶瓷末端執行器
• Bulk ESD Ceramic Components｜一體成型抗靜電陶瓷零件
• Ceramic Vacuum Chuck｜陶瓷真空吸盤
• Wafer Support Components｜晶圓支撐零件
• Positioning Components｜精密定位零件

CVD / PECVD｜薄膜沉積製程

CVD 與 PECVD 是太陽能電池及光電製程的重要薄膜沉積技術。設備零組件可能長時間處於真空、反應性氣體、Plasma、高溫及熱循環環境。

依實際製程條件，可評估使用 Al₂O₃、AlN、SiC、Quartz 等材料。

• CVD Ceramic Components｜CVD 陶瓷零件
• PECVD Ceramic Components｜PECVD 陶瓷零件
• Ceramic Support Components｜陶瓷支撐零件
• Ceramic Insulators｜陶瓷絕緣零件
• Quartz Components｜石英製程零件
• Heating Components｜加熱相關零組件

PVD / Sputtering｜鍍膜與濺鍍設備

在 PVD、Sputtering 與其他真空鍍膜設備中，精密陶瓷可用於電氣絕緣、定位、支撐、Shield 與真空相關零組件。

• PVD Ceramic Components｜PVD 陶瓷零件
• Sputtering Ceramic Components｜濺鍍陶瓷零件
• Ceramic Shields｜陶瓷 Shield
• Electrical Insulators｜電氣絕緣零件
• Vacuum Ceramic Components｜真空陶瓷零件

Heating Stage / Thermal Carrier｜加熱平台與熱載盤

光電與太陽能製程中的加熱平台、熱載盤及支撐零件，需要依工作溫度考量熱傳導、熱膨脹、溫度均勻性與尺寸穩定性。

依設備需求可評估使用 SiC 或 AlN 等材料。SiC 具有良好的熱傳導、高硬度及高溫穩定性；AlN 則兼具高熱傳導與電氣絕緣特性。

• SiC Heating Carrier｜SiC 熱載盤
• AlN Heating Components｜AlN 加熱零組件
• Ceramic Heating Stage｜陶瓷加熱平台
• Thermal Support Components｜熱製程支撐零件

Cleaning Process｜清洗製程

晶圓與光電製程中的清洗設備零組件可能長時間接觸純水、清洗液或其他製程化學環境，因此材料選擇需考量耐化學性、低污染、耐磨與尺寸穩定性。

可依實際液體種類、溫度及設備條件評估精密陶瓷或 PEEK / UPE 工程塑膠零組件。

• Ceramic Cleaning Components｜陶瓷清洗零件
• PEEK / UPE Bearings｜PEEK / UPE 軸承
• PEEK / UPE Rollers｜PEEK / UPE 導輪
• Precision Bushings｜精密軸套
• Custom Wet Process Components｜客製濕製程零件

光電太陽能製程常用材料

光電太陽能設備高度客製化加工

光電與太陽能製程設備零組件多為高度客製化產品，可依客戶既有零件或設備圖面進行材料與加工可行性評估。

• 尺寸與尺寸公差
• 平面度與平行度
• 表面粗糙度
• 精密孔位與溝槽
• 工作溫度
• 製程氣體
• Plasma / Vacuum 條件
• ESD 電氣需求
• 化學液體環境
• 設備安裝介面

Photovoltaic & Solar Process Ceramic Components

Huiya Technology provides custom precision ceramic, quartz and engineering plastic components for photovoltaic and solar manufacturing equipment.

Applications include wafer handling, CVD / PECVD, PVD / sputtering, cleaning processes, vacuum equipment, heating stages and automated production equipment.

Applications

• Solar Wafer Handling
• Ceramic Robot Arms & End Effectors
• Ceramic Vacuum Chucks
• CVD / PECVD Ceramic Components
• PVD / Sputtering Components
• SiC Thermal Carriers
• AlN Thermal Components
• Quartz Process Components
• PEEK / UPE Wet Process Components
• Bulk ESD Ceramic Components

Components can be customized according to customer drawings, dimensions, tolerances, operating temperatures, process gases, vacuum conditions, chemical environments and ESD requirements.