徽亞科技有限公司｜精密陶瓷、半導體陶瓷零組件與高度客製化加工

徽亞科技有限公司｜精密陶瓷、石英與工程材料應用

徽亞科技有限公司專注於精密陶瓷、功能陶瓷、石英及工程塑膠零組件之材料應用、客製化加工與設備零件整合，服務範圍涵蓋半導體、LED、TFT-LCD、光電太陽能、精密機械、自動化設備、食品、生技製藥及工業耐磨等領域。

我們不僅提供材料與零件，而是依客戶實際設備與製程條件，從材料選擇、零件結構、尺寸公差、表面品質、熱性能、電氣性能、ESD 靜電控制、Plasma、真空、耐磨與耐腐蝕需求進行整合評估。

無論是新設備研發、既有零件替代、材料升級、製程改善或特殊精密零件需求，皆可依客戶圖面與實際使用條件進行高度客製化評估。

核心材料｜Advanced Ceramic Materials

徽亞科技提供多種先進陶瓷與特殊工程材料，可依設備及製程需求選擇適合的材料。

• Al₂O₃ 氧化鋁｜Alumina Ceramic－高硬度、耐磨、電氣絕緣與良好高溫性能
• AlN 氮化鋁｜Aluminum Nitride Ceramic－高熱傳導、電氣絕緣與低熱膨脹
• SiC 碳化矽｜Silicon Carbide Ceramic－高硬度、良好熱傳導、耐磨及高溫穩定
• Si₃N₄ 氮化矽｜Silicon Nitride Ceramic－高強度、低密度、耐磨與優異耐熱震性能
• ZrO₂ 氧化鋯｜Zirconia Ceramic－高韌性、耐磨與良好精密加工性能
• Bulk ESD Ceramic｜一體成型抗靜電陶瓷－材料本體具有靜電耗散特性，非僅表面 ESD coating
• Machinable Glass Ceramic｜可加工玻璃陶瓷／玻璃微晶瓷－良好電氣絕緣與複雜幾何加工能力
• Quartz / Fused Quartz｜石英／熔融石英－高純度、低熱膨脹與良好耐熱震性能
• PEEK / UPE Engineering Plastics－適用於濕製程、軸承、導輪及特殊耐化學設備零件

半導體設備精密陶瓷解決方案

半導體設備是徽亞科技的重要應用領域之一。依 Wafer Handling、Plasma Etching、CVD / PECVD、PVD、熱管理及封裝製程需求，可提供各式精密陶瓷零組件。

相關應用包括：

• Ceramic Robot Arm / End Effector｜陶瓷手臂與晶圓搬運零件
• Bulk ESD Ceramic Robot Arm｜一體成型抗靜電陶瓷手臂
• Ceramic Vacuum Chuck｜陶瓷真空吸盤
• Wafer / Ceramic Chuck｜晶圓承載與精密陶瓷平台
• Shield Ring / Focus Ring / Edge Ring｜半導體製程環件
• CVD / PECVD Ceramic Components｜薄膜製程陶瓷零件
• SiC Heater Block｜Wire Bonding / Die Attach 碳化矽加熱塊
• Ceramic Bonding Head｜半導體封裝陶瓷壓頭
• Ceramic Pins / Bushings｜精密定位與支撐零件
• Quartz Semiconductor Components｜半導體石英精密零組件

Bulk ESD 一體成型抗靜電陶瓷

針對晶圓、IC 與 ESD 敏感電子元件的搬運與精密設備應用，徽亞科技提供一體成型 Bulk ESD Ceramic。

其靜電耗散特性來自陶瓷材料本體，而不是僅依靠一般陶瓷表面的抗靜電 coating，因此適合應用於 Wafer Handling、Robot Arm、End Effector、Vacuum Chuck、Ceramic Chuck 與精密 ESD 治具。

依材料牌號與實際應用需求，可評估約 10⁵～10⁹ Ω·cm 等級之電阻率範圍，實際性能應依材料、零件結構與測試條件確認。

高度客製化精密零組件

我們的產品多屬於非標準、高度客製化設備零組件。客戶可提供現有零件圖面、2D / 3D 圖檔、設備條件或希望改善的問題進行評估。

可依需求評估：

• 尺寸與尺寸公差
• 平面度與平行度
• 圓度與同心度
• 表面粗糙度
• 精密孔位與溝槽
• 真空吸附結構
• 特殊幾何形狀
• 工作溫度
• 熱傳導與熱膨脹需求
• Plasma / RF 製程條件
• 真空環境
• 耐磨與耐腐蝕需求
• ESD 靜電控制

從材料替代到製程改善

若既有設備零件存在磨耗、腐蝕、熱變形、溫度分布不均、電氣絕緣不足、ESD 靜電問題或使用壽命不足，可依實際條件評估使用適合的陶瓷、石英或工程材料進行替代與改善。

由於陶瓷與金屬具有不同的機械與熱特性，材料替換並非單純將相同尺寸改用陶瓷，而需要重新考量零件厚度、孔位、邊角、固定方式、熱膨脹、應力集中與設備介面。

服務產業

• Semiconductor｜半導體製程與設備
• LED Manufacturing｜LED 製程
• TFT-LCD / Display｜面板與顯示器製程
• Photovoltaic / Solar｜光電太陽能
• Precision Machinery｜精密機械
• Industrial Automation｜工業自動化
• Food & Pharmaceutical｜食品、生技與製藥
• Wear Resistant Systems｜工業耐磨系統
• R&D / Custom Equipment｜研發與特殊客製設備

為什麼選擇徽亞科技？

• 多材料整合：可依製程需求評估不同陶瓷、石英與工程塑膠
• 高度客製化：依客戶設備與圖面製作非標準精密零組件
• 製程導向：材料選擇不只看規格，也考量工作溫度、Plasma、真空、ESD、磨耗及化學環境
• 精密加工：依零件需求評估公差、平面度、表面粗糙度、孔位及特殊幾何
• 研發與量產：支援 Prototype、設備改善、小量試作及後續量產需求

從圖面開始，尋找適合的材料與加工方案

如果您已有零件圖面，可提供材料、尺寸、公差、數量與使用環境進行加工可行性評估。

若尚未確定適合的材料，也可提供目前設備使用條件與需要改善的問題，由徽亞科技協助評估適合的精密陶瓷、石英或工程材料方案。

About Huiya Technology

Huiya Technology specializes in custom precision ceramic, functional ceramic, quartz and engineering plastic components for semiconductor, LED, TFT-LCD, photovoltaic, precision machinery, automation, food, pharmaceutical and industrial applications.

Our approach goes beyond supplying materials. We evaluate component requirements according to actual equipment and process conditions, including operating temperature, thermal conductivity, electrical insulation, ESD control, plasma exposure, vacuum conditions, wear resistance, corrosion resistance and dimensional accuracy.

Advanced Materials

• Alumina (Al₂O₃)
• Aluminum Nitride (AlN)
• Silicon Carbide (SiC)
• Silicon Nitride (Si₃N₄)
• Zirconia (ZrO₂)
• Bulk ESD Ceramic
• Machinable Glass Ceramic
• Quartz / Fused Quartz
• PEEK / UPE Engineering Plastics

Semiconductor Ceramic Components

• Ceramic Robot Arms & End Effectors
• Bulk ESD Ceramic Components
• Ceramic Vacuum Chucks
• Wafer / Ceramic Chucks
• Shield Rings / Focus Rings / Edge Rings
• CVD / PECVD Ceramic Components
• SiC Heater Blocks
• Wire Bonding / Die Attach Components
• Ceramic Bonding Heads
• Custom Semiconductor Ceramic Components

Custom Precision Ceramic Manufacturing

Components can be evaluated according to customer drawings, dimensions, tolerances, flatness, surface roughness, operating temperatures, thermal requirements, plasma conditions, vacuum requirements, chemical environments and ESD specifications.

Huiya Technology supports prototype development, equipment improvement, material replacement, low-volume custom projects and production requirements.