一體成型抗靜電陶瓷（Bulk ESD Ceramic）｜非表面 Coating

一體成型抗靜電陶瓷（Bulk ESD Ceramic）材料介紹

一體成型抗靜電陶瓷（Bulk ESD Ceramic）是一種將抗靜電與靜電耗散特性整合於陶瓷材料本體的功能性精密陶瓷，並非僅在一般陶瓷表面施加抗靜電塗層（ESD Coating）。

由於 ESD 特性來自材料本體，因此不依賴表面 Coating 提供主要抗靜電功能，可降低因表面塗層磨耗、剝離或加工後造成抗靜電性能改變的風險，特別適合半導體、晶圓搬運、電子元件、精密自動化及 ESD 靜電控制設備使用。

徽亞科技提供一體成型抗靜電陶瓷精密零組件與客製化加工服務，可依客戶圖面、尺寸、公差、表面粗糙度、ESD 電氣性能及實際設備使用條件進行材料與加工可行性評估。

Bulk ESD Ceramic 與表面 ESD Coating 的差異

一體成型抗靜電陶瓷主要特性

材料本體具有 ESD 特性

抗靜電性能並非僅存在於零件表面，而是由陶瓷材料本體提供設計的 ESD 特性，適合需要長期靜電控制的精密設備零組件。

非表面抗靜電 Coating

Bulk ESD Ceramic 不依靠表面 ESD coating 提供主要抗靜電功能，因此可避免將 ESD 功能完全建立在表面塗層上的限制。

適合精密陶瓷加工

可依客戶零件圖面進行精密研磨、平面、孔位及特殊幾何結構加工。實際尺寸、公差、平面度與表面粗糙度需依零件設計進行評估。

適合半導體及晶圓搬運設備

半導體晶圓、IC 及電子元件對靜電放電（Electrostatic Discharge, ESD）可能具有高度敏感性，因此搬運、承載、定位及接觸零組件的靜電控制是設備設計的重要考量。

ESD 抗靜電陶瓷在半導體設備的應用

半導體與電子製程中，晶圓及電子元件可能受到靜電累積及瞬間放電影響。因此設備中的搬運、承載、定位及接觸零組件，可依實際設計需求評估使用具靜電耗散能力的 Bulk ESD Ceramic。

常見應用包括：

• ESD Ceramic Robot Arm｜抗靜電陶瓷手臂
• ESD Ceramic End Effector｜抗靜電陶瓷末端執行器
• ESD Ceramic Vacuum Chuck｜抗靜電陶瓷真空吸盤
• Wafer Handling Components｜晶圓搬運零組件
• Wafer Support Components｜晶圓承載與支撐零件
• Semiconductor Automation Components｜半導體自動化設備零件
• IC / Electronic Component Handling｜IC／電子元件搬運治具
• Precision ESD Fixtures｜精密抗靜電治具
• ESD Ceramic Plates｜抗靜電陶瓷板
• Custom ESD Ceramic Components｜客製化抗靜電陶瓷零組件

ESD 電阻率範圍與材料選擇

依材料牌號與實際應用需求，徽亞科技可提供約 10⁵～10⁹ Ω·cm 等級之抗靜電陶瓷材料評估。

實際電阻率會受到材料配方、零件尺寸、測試方法、環境溫濕度及其他測試條件影響，因此最終 ESD 規格應以雙方確認之材料牌號、零件設計及測試條件為準。

不同半導體設備對 ESD 靜電控制的要求可能不同，因此材料選擇除了電阻率之外，亦需考量零件結構、接觸方式、接地設計、工作環境及實際製程條件。

ESD 抗靜電性能測試

依不同零件及應用需求，可依適用的 ANSI/ESD 測試方法或客戶指定規範進行評估。相關測試標準可包括：

• ANSI/ESD STM2.1
• ANSI/ESD S4.1
• ANSI/ESD S7.1
• ANSI/ESD STM9.1
• ANSI/ESD STM11.11
• ANSI/ESD STM11.12
• ANSI/ESD STM11.13
• ANSI/ESD STM12.1
• ANSI/ESD STM97.1

實際適用的測試方法與判定標準，應依產品種類、使用環境及客戶技術規格確認。

一體成型 ESD 陶瓷精密客製化加工

徽亞科技提供 Bulk ESD Ceramic 一體成型抗靜電陶瓷精密零組件客製化服務，可依客戶設備與圖面需求進行材料及加工評估。

可依需求評估：

• 外徑、內徑及厚度
• 尺寸公差
• 平面度與平行度
• 表面粗糙度
• 孔位及特殊幾何結構
• 精密研磨
• ESD 電氣性能需求
• 半導體設備特殊陶瓷零組件

客戶可提供零件圖面、尺寸、公差、數量、目標 ESD 規格及實際使用環境，以利進行材料選擇及加工可行性評估。

一體成型抗靜電陶瓷常見問題 FAQ

什麼是一體成型抗靜電陶瓷？

一體成型抗靜電陶瓷是將 ESD 靜電耗散特性設計於陶瓷材料本體，而不是僅在一般陶瓷表面增加抗靜電 coating，因此材料本體具有設計的 ESD 電氣特性。

Bulk ESD Ceramic 和 ESD Coating 有什麼不同？

Bulk ESD Ceramic 的 ESD 功能來自陶瓷材料本體；表面 ESD coating 則主要依靠表面功能層提供抗靜電性能。對需要長期使用、表面磨耗或後續精密加工的零件而言，兩種方式具有不同的設計考量。

抗靜電陶瓷可以用於晶圓搬運嗎？

可以依實際設備需求評估。ESD Ceramic 可應用於晶圓搬運手臂、End Effector、Vacuum Chuck、支撐、承載及定位等零組件，但實際材料及電氣規格仍需依設備設計確認。

ESD Ceramic 可以製作真空吸盤嗎？

可以依真空孔設計、尺寸、平面度、表面粗糙度、ESD 電氣性能及實際設備條件評估製作抗靜電陶瓷真空吸盤。

抗靜電陶瓷可以客製加工嗎？

可以。可依客戶圖面、尺寸、公差、表面粗糙度、數量及 ESD 性能要求進行精密陶瓷零件加工可行性評估。

ESD 電阻率可以客製嗎？

不同材料牌號具有不同的電氣特性，可依客戶目標電阻率範圍及實際應用需求進行材料評估。最終規格需依材料、零件結構及測試條件確認。

Bulk ESD Ceramic

Non-Coated Electrostatic Dissipative Ceramic for Semiconductor Applications

Bulk ESD Ceramic is an advanced functional ceramic in which electrostatic dissipative properties are integrated throughout the ceramic material itself, rather than being provided only by a surface ESD coating.

Because the ESD functionality is designed into the bulk material, the component does not rely on an external anti-static coating for its primary electrostatic dissipative performance. This makes Bulk ESD Ceramic suitable for semiconductor, wafer handling, electronic component and precision automation applications requiring reliable ESD control.

Huiya Technology provides custom Bulk ESD ceramic components and precision machining services according to customer drawings, dimensional tolerances, surface requirements, target electrical properties and application conditions.

Key Features of Bulk ESD Ceramic

• ESD properties integrated throughout the ceramic material
• No surface ESD coating required for primary ESD functionality
• Suitable for precision ceramic machining
• Suitable for semiconductor and wafer handling equipment
• Good dimensional stability
• Custom ESD ceramic components available

Semiconductor & Wafer Handling Applications

• ESD ceramic robot arms
• ESD ceramic end effectors
• ESD ceramic vacuum chucks
• Wafer handling components
• Wafer supporting components
• Semiconductor automation components
• Electronic component handling fixtures
• Precision ESD fixtures
• ESD ceramic plates
• Custom ESD ceramic components

Electrical Resistivity

Depending on material grade and application requirements, Huiya Technology can evaluate Bulk ESD ceramic materials with electrical resistivity in approximately the 10⁵ to 10⁹ Ω·cm range.

Actual electrical performance depends on material grade, component geometry, test method, environmental conditions and application requirements. Final specifications should be confirmed according to the agreed technical requirements and test conditions.

Custom Bulk ESD Ceramic Components

Custom ESD ceramic components can be evaluated according to customer drawings and application requirements, including:

• Outside and inside diameters
• Thickness
• Flatness and parallelism
• Dimensional tolerances
• Surface roughness
• Holes and complex geometries
• Precision grinding
• Target ESD electrical properties
• Custom semiconductor ceramic components

Customers may provide drawings, quantities, dimensional requirements, target ESD specifications and operating conditions for material selection and manufacturing feasibility evaluation.

Bulk ESD Ceramic FAQ

What is Bulk ESD Ceramic?
Bulk ESD Ceramic is a functional ceramic material designed with electrostatic dissipative properties throughout the ceramic body rather than relying only on a surface anti-static coating.

What is the difference between Bulk ESD Ceramic and ESD coating?
Bulk ESD Ceramic derives its ESD functionality from the ceramic material itself, while coated ESD components rely primarily on a functional surface layer.

Can Bulk ESD Ceramic be used for semiconductor wafer handling?
Yes. Depending on equipment and electrical requirements, Bulk ESD Ceramic can be evaluated for wafer handling arms, end effectors, vacuum chucks, supports and other semiconductor automation components.

Can Bulk ESD Ceramic be used for vacuum chucks?
Yes. ESD ceramic vacuum chuck applications can be evaluated according to vacuum design, dimensions, flatness, surface finish, electrical requirements and equipment conditions.

Can Huiya Technology manufacture custom ESD ceramic components?
Yes. Components can be evaluated according to customer drawings, dimensions, tolerances, surface requirements, quantities and target ESD specifications.

Bulk ESD Ceramic 規格與加工能力