TFT-LCD 製程精密陶瓷與工程塑膠應用
徽亞科技提供 TFT-LCD、Display Panel 與玻璃基板製程設備所需之精密陶瓷、抗靜電陶瓷與工程塑膠零組件，應用於玻璃基板搬運、濕製程輸送、Plasma Etching、真空設備、AOI 檢測、定位與自動化設備。
依製程的ESD 靜電控制、耐磨、耐腐蝕、低粒子、電氣絕緣、尺寸穩定及濕製程化學環境需求，可評估使用 Bulk ESD Ceramic、Al₂O₃、ZrO₂、SiC、Si₃N₄、Machinable Glass Ceramic、Quartz，以及 PEEK / UPE 等工程塑膠材料。
Glass Substrate Handling｜玻璃基板搬運
TFT-LCD 玻璃基板尺寸大、厚度薄，搬運與定位設備需要控制接觸、摩擦、顆粒與靜電風險。
- Bulk ESD Ceramic Components｜一體成型抗靜電陶瓷
- Ceramic Pins｜陶瓷 Pin
- Ceramic Caps / Buttons｜陶瓷 Cap / Button
- Roller Bushings｜滾輪襯套
- Positioning Components｜定位零件
- Vacuum / Support Components｜吸附與支撐零件
Wet Process｜濕製程輸送系統
TFT-LCD 清洗、蝕刻及其他濕製程設備中的軸承、導輪與輸送零件，需要長時間接觸液體與化學製程環境，因此需考量耐化學性、低污染、耐磨與清洗性能。
可依設備條件評估：
- PEEK Bearings｜PEEK 軸承
- UPE Bearings｜UPE 軸承
- PEEK / UPE Rollers｜工程塑膠導輪
- Substrate Edge Rollers｜基板輸送邊導輪
- Custom Wet Process Components｜客製濕製程零組件
Plasma Etching｜面板電漿蝕刻設備
Plasma Etching 設備零組件可能接觸反應性氣體、RF Plasma、真空及溫度變化，因此材料需依實際 Plasma Chemistry 與零件位置評估。
- Ceramic Shield Ring｜陶瓷遮蔽環
- Chamber Ceramic Components｜腔體陶瓷零件
- Electrical Insulators｜絕緣零件
- Quartz Process Components｜石英製程零件
- Custom Plasma Components｜客製電漿零件
Ceramic Roller Bushing｜陶瓷滾輪襯套
陶瓷 Roller Bushing 可應用於 TFT-LCD 基板輸送與自動化設備，利用陶瓷的高硬度、耐磨與尺寸穩定特性，作為滾輪、軸套及輸送機構相關精密零件。
可依現有零件進行新品製作或重工可行性評估，尺寸、公差與材料需依設備實際需求確認。
Ceramic Pin / Cap / Button｜精密接觸與定位零件
陶瓷 Pin、Cap、Button 可應用於玻璃基板支撐、定位、接觸及自動化設備。依使用位置可選擇 Al₂O₃、ZrO₂ 或其他精密陶瓷材料。
零件可依接觸面、尺寸、公差、耐磨與表面要求進行高度客製化加工。
AOI / Inspection｜光學檢測與精密平台
AOI、雷射量測及面板檢測設備對平台的尺寸穩定、電氣絕緣及精密定位具有較高要求。
- Inspection Stage｜檢測平台
- Positioning Base｜定位基座
- Machinable Ceramic Fixtures｜可加工陶瓷治具
- Electrical Isolation Components｜電氣隔離零件
- Precision Support Components｜精密支撐零件
Bulk ESD Ceramic｜TFT-LCD 抗靜電陶瓷
針對玻璃基板與 ESD 敏感元件的搬運、吸附與定位，可評估使用一體成型 Bulk ESD Ceramic。
其靜電耗散性能存在於陶瓷材料本體，而非僅依賴表面 coating，適合應用於搬運、接觸、定位與吸附相關零組件。
TFT-LCD 常用材料
| 材料 | 主要特性 | 應用方向 |
|---|---|---|
| Bulk ESD Ceramic | 靜電耗散、耐磨、尺寸穩定 | 基板搬運、吸附、定位 |
| Al₂O₃ | 高硬度、耐磨、絕緣 | Pin、Bushing、Stage、Insulator |
| ZrO₂ | 高韌性、耐磨 | Pin、定位與精密接觸零件 |
| SiC | 良好熱性能、高硬度 | 熱製程、Plasma 與設備結構零件 |
| Quartz | 高純度、低熱膨脹 | 真空、Plasma、光學與熱製程 |
| PEEK / UPE | 耐化學、低重量、適合濕製程 | 軸承、導輪、輸送零件 |
TFT-LCD 高度客製化零組件
可依客戶 TFT-LCD 設備圖面與實際製程條件進行精密加工與材料評估。
- 尺寸與公差
- 表面粗糙度
- 耐磨與接觸條件
- ESD 電氣需求
- 濕製程化學環境
- Plasma / Vacuum 條件
- 輸送速度與機械負載
- 特殊幾何結構
TFT-LCD Process Ceramic & Engineering Plastic Components
Huiya Technology provides custom precision ceramic, Bulk ESD ceramic and engineering plastic components for TFT-LCD and display panel manufacturing equipment.
Applications include glass substrate handling, wet process transport systems, plasma etching, inspection equipment, positioning systems and automated production equipment.
Applications
- Glass Substrate Handling
- Bulk ESD Ceramic Components
- PEEK / UPE Bearings & Rollers
- Ceramic Shield Rings
- Ceramic Roller Bushings
- Ceramic Pins
- Ceramic Caps / Buttons
- AOI & Inspection Fixtures
- Precision Positioning Components
Components can be customized according to drawings, dimensions, tolerances, surface requirements, chemical environment, plasma conditions and ESD requirements.
