application

製程應用

手臂-1
  • 手臂-1
  • 抗靜電手臂
  • 手臂-6
  • 手臂-4
  • 手臂-2
  • 手臂-7
  • 手臂-8
  •  手臂-3拷貝

《陶瓷手臂》《全抗靜電陶瓷手臂》

常用規格:《2“-12”晶圓搬運;客製化規格:依圖面製作》 《材料:陶瓷,全抗靜電陶瓷》
  • 客製化陶瓷手臂:
    A.一般貼片式陶瓷手臂,用鋁片或是陶瓷片密封手臂真空道
    B.無接縫式製程陶瓷手臂,將兩片陶瓷加工真空道後再進燒結爐二次燒結後再做外型的精加工
        故不會有一般用貼片式封真空道的陶瓷手臂漏氣的問題
    客製化全抗靜電陶瓷手臂:
    陶瓷材料本身阻抗10的6次方~8次方歐姆(非表面coating抗靜電)